Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)

 

 

Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80 и ASTM D-5127-90

 

Показатели Единицы измерения Марка воды по
ОСТ 11.029.003-80
Марка воды по
нормам ASTM D-5127-90
А Б В Е-1.1 Е-1.2 Е-1 Е-2 Е-3 Е-4
Удельное сопротивление
при тем. 20 С
МОм*см 18 17  5 18,2 18,2 18  17,5  12  0,5 
Органические
вещества (окисляемость)
мг О2 0,5 0,6 1,0            
Общий органический
углерод
мкг/л    2 1 5 50  300  1000 
Кремниевая к-та (SiO3-2) мкг/л 0,01 0,01  0.05 0,5 0,5 3 10 50  1000 
Железо (Fe) мкг/л 0,002 0,005 0,01 0,02 0,002  0,05 1 500 
Медь (Cu) мкг/л 0,002 0,002 0,003 0,02 0,002 0,05 1 5 500
Хлориды (Cl -) мкг/л    0,05 0,02 0,1 1 10 1000 
Никель (Ni) мкг/л   0,02 0,002  0,05 500 
Нитраты мкг/л   0,05 0,02 0,1  500 
Фосфаты мкг/л   0,05 0,02 0,1   500 
Сульфаты мкг/л   0,05 0,02 0,1  500 
Калий мкг/л   0.02  0.05   0,05 2 500 
Натрий мкг/л   0,02  0,005  0,05 1000
Цинк мкг/л   0,02 0,002  0,05 500 
Аммоний мкг/л   0,1 0,05 0,1      
Бром мкг/л   0,05 0,02 0,1      
Фтор мкг/л   0,05 0,03  0,1      
Алюминий мкг/л   0,02 0,005  0,05      
Барий мкг/л   0,05 0,001  0,05      
Бор мкг/л   0,02 0,005  0,05      
Кальций мкг/л   0,02 0,002  0,05      
Хром мкг/л   0,02 0,002  0,05      
Свинец мкг/л   0,02 0,002  0,05      
Литий мкг/л   0,02 0,003  0,05      
Магний мкг/л   0,02 0,002  0,05      
Марганец мкг/л   0,02 0,002  0,05      
Микрочастицы шт/мл 2 20 50            
Минимальный размер частиц мкм 1 1 5            
Микроорганизмы колоний/мл 1 2 10 1 1