многоканальный: (499) 704 32 12
тел./факс: (495) 663 30 50

Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80 и ASTM D-5127-90.

Показатели Единицы измерения Марка воды по
ОСТ 11.029.003-80
Марка воды по
нормам ASTM D-5127-90
А Б В Е-1.1 Е-1.2 Е-1 Е-2 Е-3 Е-4
Удельное сопротивление
при температуре +20 °С
МОм·см 18 17 5 18,2 18,2 18 17,5 12 0,5
Органические
вещества (окисляемость) (O2)
мг/л 0,5 0,6 1,0
Общий органический
углерод
мкг/л 2 1 5 50 300 1000
Кремниевая кислота (SiO3-2) мкг/л 0,01 0,01 0,05 0,5 0,5 3 10 50 1000
Железо (Fe) мкг/л 0,002 0,005 0,01 0,02 0,002 0,05 1 2 500
Медь (Cu) мкг/л 0,002 0,002 0,003 0,02 0,002 0,05 1 5 500
Хлориды (Cl-) мкг/л 0,05 0,02 0,1 1 10 1000
Никель (Ni) мкг/л 0,02 0,002 0,05 1 2 500
Нитраты мкг/л 0,05 0,02 0,1 1 5 500
Фосфаты мкг/л 0,05 0,02 0,1 1 5 500
Сульфаты мкг/л 0,05 0,02 0,1 1 5 500
Калий мкг/л 0,02 0,05 0,05 2 5 500
Натрий мкг/л 0,02 0,005 0,05 1 5 1000
Цинк мкг/л 0,02 0,002 0,05 1 5 500
Аммоний мкг/л 0,1 0,05 0,1
Бром мкг/л 0,05 0,02 0,1
Фтор мкг/л 0,05 0,03 0,1
Алюминий мкг/л 0,02 0,005 0,05
Барий мкг/л 0,05 0,001 0,05
Бор мкг/л 0,02 0,005 0,05
Кальций мкг/л 0,02 0,002 0,05
Хром мкг/л 0,02 0,002 0,05
Свинец мкг/л 0,02 0,002 0,05
Литий мкг/л 0,02 0,003 0,05
Магний мкг/л 0,02 0,002 0,05
Марганец мкг/л 0,02 0,002 0,05
Микрочастицы шт/мл 2 20 50
Минимальный размер частиц мкм 1 1 5
Микроорганизмы колоний/мл 1 2 10 1 1 1