Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80 и ASTM D-5127-90.
| Показатели | Единицы измерения | Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 |
Марка воды по нормам ASTM D-5127-90 |
|||||||
| А | Б | В | Е-1.1 | Е-1.2 | Е-1 | Е-2 | Е-3 | Е-4 | ||
| Удельное сопротивление при температуре +20 °С |
МОм·см | 18 | 17 | 5 | 18,2 | 18,2 | 18 | 17,5 | 12 | 0,5 |
| Органические вещества (окисляемость) (O2) |
мг/л | 0,5 | 0,6 | 1,0 | ||||||
| Общий органический углерод |
мкг/л | 2 | 1 | 5 | 50 | 300 | 1000 | |||
| Кремниевая кислота (SiO3-2) | мкг/л | 0,01 | 0,01 | 0,05 | 0,5 | 0,5 | 3 | 10 | 50 | 1000 |
| Железо (Fe) | мкг/л | 0,002 | 0,005 | 0,01 | 0,02 | 0,002 | 0,05 | 1 | 2 | 500 |
| Медь (Cu) | мкг/л | 0,002 | 0,002 | 0,003 | 0,02 | 0,002 | 0,05 | 1 | 5 | 500 |
| Хлориды (Cl-) | мкг/л | 0,05 | 0,02 | 0,1 | 1 | 10 | 1000 | |||
| Никель (Ni) | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | 1 | 2 | 500 | |||
| Нитраты | мкг/л | 0,05 | 0,02 | 0,1 | 1 | 5 | 500 | |||
| Фосфаты | мкг/л | 0,05 | 0,02 | 0,1 | 1 | 5 | 500 | |||
| Сульфаты | мкг/л | 0,05 | 0,02 | 0,1 | 1 | 5 | 500 | |||
| Калий | мкг/л | 0,02 | 0,05 | 0,05 | 2 | 5 | 500 | |||
| Натрий | мкг/л | 0,02 | 0,005 | 0,05 | 1 | 5 | 1000 | |||
| Цинк | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | 1 | 5 | 500 | |||
| Аммоний | мкг/л | 0,1 | 0,05 | 0,1 | ||||||
| Бром | мкг/л | 0,05 | 0,02 | 0,1 | ||||||
| Фтор | мкг/л | 0,05 | 0,03 | 0,1 | ||||||
| Алюминий | мкг/л | 0,02 | 0,005 | 0,05 | ||||||
| Барий | мкг/л | 0,05 | 0,001 | 0,05 | ||||||
| Бор | мкг/л | 0,02 | 0,005 | 0,05 | ||||||
| Кальций | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | ||||||
| Хром | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | ||||||
| Свинец | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | ||||||
| Литий | мкг/л | 0,02 | 0,003 | 0,05 | ||||||
| Магний | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | ||||||
| Марганец | мкг/л | 0,02 | 0,002 | 0,05 | ||||||
| Микрочастицы | шт/мл | 2 | 20 | 50 | ||||||
| Минимальный размер частиц | мкм | 1 | 1 | 5 | ||||||
| Микроорганизмы | колоний/мл | 1 | 2 | 10 | 1 | 1 | 1 | |||